开云 光驰科技央求靶材缓存安装及真空科罚斥地专利, 幸免了真空腔室里面环境出现劣化

国度学问产权局信息显现，光驰科技（上海）有限公司央求一项名为“一种靶材缓存安装及真空科罚斥地”的专利，公开号CN121951461A，央求日历为2026年2月。

专利纲目显现，本发明波及真空科罚本领规模，公开了一种靶材缓存安装及真空科罚斥地。该靶材缓存安装包括缓存腔室、阻挠组件和输送机构；缓存腔室设立有大气阻挠门；至少部分输送机构设于缓存腔室内；输送机构的初始端可拆卸承接于靶材单位的一端，用于初始靶材单位的另一端穿过阻挠组件干与或脱离真空腔室。本发明中在阻挠组件分隔缓存腔室和真空腔室后，稠浊物不会干与真空腔室内，幸免了真空腔室里面环境出现劣化，与此同期，使用缓存腔室暂存靶材单位并勾通输送机构初始靶材单位移动，或者看管靶材单位固定占用真空腔室的空间，幸免了靶材单位闭塞其他真空科罚源的职责旅途，开云官方体育app进而幸免对基材的真空科罚服从酿成影响。

天眼查而已显现，光驰科技（上海）有限公司，缔造于2000年，位于上海市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册成本80000万日元。通过天眼查大数据分析，光驰科技（上海）有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标神志41次，财产踪迹方面有商标信息19条，专利信息377条，此外企业还领有行政许可49个。

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本文源自：市集资讯开云

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